申请/专利权人：上海鲲游科技有限公司

申请日：2024-01-24

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117607165B

主分类号：G01N21/95

分类号：G01N21/95;G01M11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权;2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明提供了一种衍射光波导的重影判断方法，通过获取图像的灰度分布图，首先根据灰度分布图的峰值数量，判断显示图像属于重影的哪种类型；并进一步根据预设的参考基准P，判断滤除背景灰度值后的实测线宽与P之间的关系，判断是否存在重影；当存在重影时，并进一步结合分布曲线的对称性来判断重影像是否与原像叠加使原像的宽度变宽；同步根据不对称时两侧曲线的拟合直线斜率的大小关系，判断图像是否存在拖尾，或严重拖尾的情况，进而筛选出能够被接受的合格波导产品，本方法能提高产品缺陷的检出率和提高产品的良率。

主权项：1.一种衍射光波导的重影判断方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：提供待测的衍射光波导、与所述衍射光波导匹配的光引擎和工业相机；S2：调整所述工业相机的位置，使其固定于所述衍射光波导的眼盒位置；调整所述工业相机的焦距、曝光时间，使其能够清晰、完整地拍摄到所述衍射光波导的整个画面图像；S3：设定允许的重影规格为光引擎芯片上的B个像素数的偏离，所述光引擎芯片的分辨率为H1*V1，投影画面的像素数与所述光引擎芯片的像素数对应，投影画面的线宽为B个像素数，投影画面被所述工业相机拍摄后，在整个照片上所占的横向像素宽度为H2，则理想成像状态下拍摄后投影画面中的B个像素数在照片中所占的像素数为：P=B*H2H1；定义P为参考基准；S4：打开光引擎，并由所述工业相机获取所述衍射光波导的图像，并采集所述图像中出现重影区域的灰度值，绘制不同像素点位置所对应的灰度值，得到灰度分布图；根据所述灰度分布图，判断所述灰度分布图是否存在多个峰值；当存在多个峰值时，则判断所述图像存在重影，重影类型属于原像和重影像完全分离的情况；当仅存在一个峰值时，则进行下一步；S5：根据所述步骤S4确定的所述灰度分布图，判断实测线宽；S6：判断所述步骤S5中所述实测线宽与所述步骤S3中的所述参考基准P之间的关系，判断所述图像是否存在重影；当存在重影时，则继续进行下一步；S7：判断所述灰度分布图中分布曲线的对称性，当灰度分布图中分布曲线具有对称性时，则判断图像存在重影，重影类型属于重影像与原像叠加使原像的宽度变宽；当灰度分布图中分布曲线不具有对称性时，则判断图形存在重影，继续进行下一步；S8：当灰度分布图中分布曲线不具有对称性时，判断分布曲线在不同位置的拟合直线斜率，根据拟合直线的斜率判断重影情况；所述步骤S5的步骤具体为：根据所述步骤S4确定的灰度分布图，采集不同重影区域的灰度值，根据预先设置的背景灰度值c与灰度分布曲线的交点所在的位置a和b，a和b分别定义为重影区域不同像素点的起点和终点，在滤除所述背景灰度值c后，则（b-a）被定义为实测线宽；所述步骤S6的步骤具体为：根据所述实测线宽（b-a），判断所述实测线宽（b-a）与P之间的关系；当所述实测线宽（b-a）≤P时，则判断图像无重影，判断结束，待测衍射光波导属于合格样品，获取的图像无重影现象；当所述实测线宽（b-a）P时，则表明存在重影，进行下一步。

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权利要求：

百度查询： 上海鲲游科技有限公司 一种衍射光波导的重影判断方法

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