申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日：2023-11-27

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117778968A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C22B7/00;C22B58/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明属于靶材退绑技术领域，公开了一种ITO旋转靶材的残靶批量退绑方法，包括如下步骤：步骤1：将多个带有背衬管的残靶圆筒放入退绑机中，然后将退绑机内部抽真空使退绑机内部形成真空氛围；步骤2：根据残靶圆筒长度开启相对应的区间加热，升温至200～300℃后保温；步骤3：待铟熔化成铟液流出直至没有铟液流出后停止加热，收集铟液；步骤4：抽出残靶。本发明提供了一种ITO旋转靶材的残靶批量退绑方法，可以批量退绑多个ITO旋转靶材的残靶，并且在退绑过程中可以有效防止铟流出过慢且在高温状态下铟容易氧化生成氧化银的问题，可以有效缩短残靶回收周期，并且有效降低整个残靶回收的成本。

主权项：1.一种ITO旋转靶材的残靶批量退绑方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将多个带有背衬管的残靶圆筒放入退绑机中，然后将退绑机内部抽真空使退绑机内部形成真空氛围；步骤2：根据残靶圆筒长度开启相对应的区间加热，升温至200～300℃后保温；步骤3：待铟熔化成铟液流出直至没有铟液流出后停止加热，收集铟液；步骤4：抽出残靶。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种ITO旋转靶材的残靶批量退绑方法

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