申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117792287A

主分类号：H03B5/30

分类号：H03B5/30;H03H9/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开一种微机电系统振荡器，设置有MEMS裸片和CMOS裸片，微机电系统振荡器包括：谐振器，设于MEMS裸片上，谐振器用于振动并产生振荡信号；TIA振荡子电路，TIA振荡子电路与谐振器电连接，用于接收振荡信号以驱使谐振器振动，且基于振荡信号输出相应的频率信号；电荷泵电路，包括电连接的供能单元和电荷泵升压单元，供能单元设于CMOS裸片上，供能单元为电荷泵升压单元提供供能信号，电荷泵升压单元设于MEMS裸片上且与谐振器电连接，电荷泵升压单元用于对供能信号进行升压转换以生成偏置电压并施加给谐振器，供能信号之电压小于偏置电压。本发明技术方案能够同时满足低抖动和使电荷泵电路输出较大的偏置电压两个需求。

主权项：1.一种微机电系统振荡器，所述微机电系统振荡器设置有MEMS裸片和CMOS裸片，其特征在于，所述微机电系统振荡器包括：谐振器，设于所述MEMS裸片上，所述谐振器用于振动并产生振荡信号；TIA振荡子电路，所述TIA振荡子电路与所述谐振器电连接，用于接收所述振荡信号以驱使所述谐振器振动，且基于所述振荡信号输出相应的频率信号；电荷泵电路，包括电连接的供能单元和电荷泵升压单元，所述供能单元设于所述CMOS裸片上，所述供能单元为所述电荷泵升压单元提供供能信号，所述电荷泵升压单元设于所述MEMS裸片上且与所述谐振器电连接，所述电荷泵升压单元用于对所述供能信号进行升压转换以生成偏置电压并施加给所述谐振器，所述供能信号之电压小于所述偏置电压。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 微机电系统振荡器和电子设备

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