申请/专利权人：霍尼韦尔国际公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117771928A

主分类号：B01D53/81

分类号：B01D53/81

优先权：["20220927 US 17/935,878"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.29#公开

摘要：本文描述用于可蒸发吸气剂的基于氧化物的掺杂的系统和方法。在某些实施方案中，一种方法包括将第一吸气剂材料与第二吸气剂材料混合以产生混合吸气剂材料。该方法还包括将氧化物掺杂剂与该混合吸气剂材料混合以产生掺杂吸气剂材料。此外，该方法包括将该掺杂吸气剂材料密封在装置内。此外，该方法包括向该掺杂吸气剂材料施加热量，以使该掺杂吸气剂材料放出掺杂气体以沉积在该装置的内表面上。

主权项：1.一种方法，所述方法包括：将第一吸气剂材料与第二吸气剂材料混合以产生混合吸气剂材料；将氧化物掺杂剂与所述混合吸气剂材料混合以产生掺杂吸气剂材料；将所述掺杂吸气剂材料密封在装置内；以及向所述掺杂吸气剂材料施加热量，以使所述掺杂吸气剂材料放出掺杂气体以沉积在所述装置的内表面上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 霍尼韦尔国际公司 可蒸发吸气剂的基于氧化物的掺杂

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