申请/专利权人：超丰微纳科技(宁波)有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220685229U

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于正多棱柱侧面真空镀膜的治具，具体涉及光学真空镀膜设备技术领域，包括治具基座，所述治具基座开设有至少一个空腔，所述空腔具有第一开口和第二开口，横截面边数不小于六条的正多棱柱工件能够沿垂直于其自身轴线的方向从所述第一开口插入至所述空腔并与所述空腔固定连接，同时正多棱柱工件的待镀侧面能够从所述第二开口露出，所述第二开口能够朝向蒸发源，所述第二开口相对于固定在所述空腔中的正多棱柱工件的中心轴的打开角度不大于60°。本实用新型能够提高正多棱柱侧面的镀膜效率，提高每个侧面初始膜层的致密度和附着力，提高镀膜质量。

主权项：1.一种用于正多棱柱侧面真空镀膜的治具，其特征在于：包括治具基座，所述治具基座开设有至少一个空腔，所述空腔具有第一开口和第二开口，横截面边数不小于六条的正多棱柱工件能够沿垂直于其自身轴线的方向从所述第一开口插入至所述空腔并与所述空腔固定连接，同时正多棱柱工件的待镀侧面能够从所述第二开口露出，所述第二开口能够朝向蒸发源，所述第二开口相对于固定在所述空腔中的正多棱柱工件的中心轴的打开角度不大于60°。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 超丰微纳科技(宁波)有限公司 一种用于正多棱柱侧面真空镀膜的治具

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