申请/专利权人：北京航宇荣康科技股份有限公司

申请日：2022-09-23

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117802473A

主分类号：C23C14/56

分类号：C23C14/56;C23C14/24;C23C14/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：多功能真空镀膜机，既可以在聚酯薄膜上镀膜，也可以在硬质塑料基片上镀膜。镀PET材料时，将蒸发系统安装成直线排列，PET基材卷绕系统通过真空室小门装入真空室内并通过两端的端面固定于真空室内；将真空室密闭通过电气控制系统控制真空抽气系统对真空室进行抽真空，当真空度达到工艺设定要求时开启蒸发系统及PET基材卷绕系统开始镀膜；镀硬质基材时，将蒸发系统按需求移动到安装位置，将硬质基材固定于硬质基材旋转系统，硬质基材旋转系统通过真空室大门装入真空室，将硬质基材旋转系统固定于真空室顶部的旋转轴上，关闭真空室门，当真空度达到工艺设定要求时开启蒸发系统及硬质基材旋转系统开始镀膜。

主权项：1.多功能真空镀膜机，其特征在于：其包括：真空抽气系统1、真空室2、PET基材卷绕系统3、硬质基材旋转系统4、蒸发系统5、电气控制系统6、水冷却系统7；真空抽气系统均布于真空室侧面并避开大门位置，真空抽气系统通过真空室侧面法兰与真空室相连接，真空室为圆柱体且开有用于进出硬质基材的大门21，大门上开有用于进出PET基材卷绕系统的小门22；蒸发系统布置于真空室底部，水冷却系统的水管均匀布置于真空室内壁，通过管道连接真空室外的制冷装置；PET基材卷绕系统两端固定于真空室侧面，硬质基材旋转系统通过转轴固定于真空室顶部，PET基材卷绕系统与硬质基材旋转系统在真空室内同时安装，根据镀膜需要选择一种安装；镀PET材料时，将蒸发系统安装成直线排列，PET基材卷绕系统通过真空室小门装入真空室内并通过两端的端面固定于真空室内；将真空室密闭通过电气控制系统控制真空抽气系统对真空室进行抽真空，当真空度达到工艺设定要求时开启蒸发系统及PET基材卷绕系统开始镀膜，通过控制蒸发系统功率、PET基材卷绕系统速度来控制膜层厚度；镀硬质基材时，将蒸发系统按需求移动到安装位置，将硬质基材固定于硬质基材旋转系统，硬质基材旋转系统通过真空室大门装入真空室，将硬质基材旋转系统固定于真空室顶部的旋转轴上，关闭真空室门；通过电气控制系统控制抽真空系统对真空室进行抽真空，当真空度达到工艺设定要求时开启蒸发系统及硬质基材旋转系统开始镀膜，通过控制蒸发系统功率、硬质基材旋转速度及镀膜时间控制膜层厚度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京航宇荣康科技股份有限公司 多功能真空镀膜机

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