申请/专利权人:江西理工大学南昌校区
申请日:2023-12-19
公开(公告)日:2024-04-02
公开(公告)号:CN117805190A
主分类号:G01N27/00
分类号:G01N27/00;B82Y15/00;G01N27/30;G01N27/12
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开
摘要:本发明公开了一种基于MoSH单层的纳米本征气敏器件,该气敏器件基于MoSH材料的单层结构,其两端结构与中间区本征结构相同,并在其两端分别施加源极电极和漏极电极,且因MoSH材料的单层结构使得氮基气体沿着A输运方向和Z输运方向存在差异性,进而构造沿着不同方向输运的用于氮基气体检测的纳米本征气敏器件。本发明构造的基于MoSH单层的纳米本征气敏器件具有结构超薄、能耗低、响应信号各异性和对NO气体的高灵敏度响应等优点,能够应用于构造氮基气体检测的纳米级气敏器件。
主权项:1.一种基于MoSH单层的纳米本征气敏器件,其特征在于:该气敏器件基于MoSH材料的单层结构,其两端结构与中间区本征结构相同,并在其两端分别施加源极电极和漏极电极,且因MoSH材料的单层结构使得氮基气体沿着A输运方向和Z输运方向存在差异性,进而构造沿着不同方向输运的用于氮基气体检测的纳米本征气敏器件。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 江西理工大学南昌校区 一种基于MoSH单层的纳米本征气敏器件
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