申请/专利权人：株式会社尼康

申请日：2022-08-08

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117813550A

主分类号：G03F7/004

分类号：G03F7/004;C07C323/16;C07C329/06;C08F20/38;G03F7/38;H01L21/288;H01L21/336;H01L29/786;H10K71/20

优先权：["20210817 JP 2021-132671"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：一种感光性表面处理剂，包含下述式1所表示的化合物或由下述式1衍生的高分子化合物。[式1中，R1为氢原子或碳数1～5的烷基，R2及R3分别独立地为碳数1～3的烷基或碳数1～13的氟烷基，R4为氢原子或硝基，n1为0或1，Y为含聚合性基的基或碳数1～20的直链状或支链状的烷基]

主权项：1.一种感光性表面处理剂，包含下述式1所表示的化合物或由下述式1衍生的高分子化合物，[化1] [式1中，R1为氢原子或碳数1～5的烷基，R2及R3分别独立地为碳数1～3的烷基或碳数1～13的氟烷基，R4为氢原子或硝基，n1为0或1，Y为含聚合性基的基或碳数1～20的直链状或支链状的烷基]。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社尼康 感光性表面处理剂、层叠体、晶体管、图案形成方法及晶体管的制造方法

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