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【发明公布】一种石英晶体谐振器制备方法_深圳市奥宇达电子有限公司_202410029239.5 

申请/专利权人:深圳市奥宇达电子有限公司

申请日:2024-01-05

公开(公告)日:2024-04-02

公开(公告)号:CN117811528A

主分类号:H03H3/02

分类号:H03H3/02;H03H9/19

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要:本发明公开了一种石英晶体谐振器制备方法,包括以下步骤:S1.胚料准备:备好二氧化硅颗粒物20‑50份、导电树脂胶5‑12份、银丝15‑30份、铜合金10‑20份、陶瓷5‑20份、绝缘胶2‑8份;S2.提纯:将二氧化硅颗粒物进行煅烧水淬处理,而后投入至磁选设备中磁选,后将二氧化硅焙烧,经冷却水碎后浮选,最后酸浸除杂,得到二氧化硅纯料,S3.粗细加工:二氧化硅纯料使用倒圆设备磨圆外棱角,通过精磨设备将二氧化硅纯料研磨,本发明的二氧化硅在制备过后,利用离子束刻蚀的束源在二氧化硅晶片上进行刻蚀,通过调节刻蚀的夹角,将石英晶体谐振器晶体的均匀性改变,制成薄片的晶体均匀度提高,较薄晶体将频率提升,而均匀性改变后稳定的振荡频率使信号准确的传输。

主权项:1.一种石英晶体谐振器制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1.胚料准备:备好二氧化硅颗粒物20-50份、导电树脂胶5-12份、银丝15-30份、铜合金10-20份、陶瓷5-20份、绝缘胶2-8份;S2.提纯:将二氧化硅颗粒物进行煅烧水淬处理,而后投入至磁选设备中磁选,后将二氧化硅焙烧,经冷却水碎后浮选,最后酸浸除杂,得到二氧化硅纯料;S3.粗细加工:二氧化硅纯料使用倒圆设备磨圆外棱角,通过精磨设备将二氧化硅纯料研磨,再利用打薄设备将二氧化硅纯料制成薄片,得到晶片1;S4.微调频:将银丝高温熔化,使晶片1浸入熔化银丝中包覆,晶片1的表面得到银层5,利用离子束刻蚀的束源在晶片1表面刻蚀并保持一定刻蚀角度,其中,离子束束源和晶片1之间的刻蚀固定夹角设定为h,所得到晶片1表面均匀平整值为e,均匀平整值为e的公式为: 公式中,刻蚀的总深度为k,刻蚀测试点数量为a,当30°≤h≤35°时,e的数值高,当h≥35°时,e的数值低;S5.导电点胶:并将铜合金切割得到电极4,使用导电树脂胶点胶在晶片1和电极4之间,导电树脂胶点胶形成导电胶7;S6.辅助处理:将陶瓷切割后,通过铣削设备制成基座3,在基座3中灌入绝缘胶,形成绝缘垫8,并将电极4插设至绝缘垫8内;S7.氮气防护:在铜合金料中开槽,形成装设腔6,装设腔6中通入氮气,得到外壳2,再将外壳2焊接在基座3上;S8.漏检:使用超声波检漏仪将外壳2内部的气体泄露情况检测,防止外壳2中的泄露。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市奥宇达电子有限公司 一种石英晶体谐振器制备方法

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