申请/专利权人：华中科技大学

申请日：2024-02-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117805437A

主分类号：G01P15/125

分类号：G01P15/125;G01P15/08;G01P15/18;H03M1/08

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本申请提供了一种交直混合降低读出电路1f噪声的静电加速度计，属于加速度传感测量领域；静电加速度计包括：测量控制电路、敏感探头、信号驱动器和数据读出单元；信号驱动器用于提供载波、直流偏置电压和微扰信号，并通过一根金丝施加到检验质量上；极板上施加反馈电压；微扰信号用于将读出加速度的频率调制到高于1f噪声的拐点频率；数据读出单元用于通过高通滤波器剔除读出电压中的直流分量并于此同时抑制掉1f噪声，随后对经微扰信号调制后的反馈电压信号进行放大，最终利用模拟数字转换芯片转换为数字信号，通过数字解调获取读出加速度。本申请提高了输入加速度的获取精准度。

主权项：1.一种交直混合降低读出电路1f噪声的静电加速度计，其特征在于，包括：测量控制电路、敏感探头、信号驱动器和数据读出单元；所述信号驱动器的输出端连接敏感探头的一输入端；所述采集单元的输入端连接敏感探头的另一输入端；所述敏感探头包括检验质量和极板；所述信号驱动器用于提供载波、直流偏置电压和微扰信号，并将载波、直流偏置电压和微扰信号施加至检验质量上；所述极板上施加反馈电压；所述微扰信号用于将所述数据读出单元获取的读出加速度的频率调制到高于1f噪声的拐点频率；1f噪声包括测量控制电路以及数据读出单元引入的1f噪声；所述数据读出单元用于采集经微扰信号调制后的反馈电压信号；同时去除输入的直流反馈电压信号和1f噪声，对经微扰信号调制后的反馈电压信号进行放大，再通过模拟数字转换，最终通过数字解调获取读出电压，提取读出加速度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华中科技大学 一种交直混合降低读出电路1/f噪声的静电加速度计

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