申请/专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司;浙江求是半导体设备有限公司

申请日：2024-01-23

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117803812A

主分类号：F16M11/04

分类号：F16M11/04;F16M11/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明属于载台调节技术领域，公开了一种载台调节装置，包括板组件、交替间隔地设于板组件的周侧的两个位于第一连线的第一变形块和两个位于第二连线的第二变形块，板组件包括间隔设置的上板和下板，载台穿过上板且连接于下板；第一变形块包括相互连接且仅能够沿水平方向相对移动的第一内侧部和第一外侧部，第一内侧部抵接且连接于下板，第一外侧部抵接且连接于上板；第二变形块包括相互连接且仅能够沿水平方向相对移动的第二内侧部和第二外侧部，上板和下板均与第二内侧部间隔设置，第二外侧部抵接且连接于上板，第二外侧部与下板间隔设置，顶升执行器设于下板且伸出于上板；顶升执行器的移动端抵接于顶块组件，适用于大尺寸、高负载载台的调节。

主权项：1.一种载台调节装置，其特征在于，包括：板组件1，包括间隔设置的上板11和下板12，载台5穿过所述上板11且连接于所述下板12；两个第一变形块2，所述第一变形块2包括相互连接且仅能够沿水平方向相对移动的第一内侧部21和第一外侧部22，所述第一内侧部21抵接且连接于所述下板12，所述第一外侧部22抵接且连接于所述上板11，两个所述第一变形块2位于第一连线上；两个第二变形块6，所述第二变形块6包括相互连接且仅能够沿水平方向相对移动的第二内侧部和第二外侧部，所述第二内侧部连接于外界结构，且所述上板11和所述下板12均与所述第二内侧部间隔设置，所述第二外侧部抵接且连接于所述上板11，所述第二外侧部与所述下板12间隔设置，两个所述第一变形块2和两个所述第二变形块6交替间隔地设于所述板组件1的周侧，两个所述第二变形块6位于第二连线上；顶升执行器3，设于所述下板12，所述顶升执行器3设于所述第一连线和或所述第二连线和或所述第一连线与所述第二连线之间，所述顶升执行器3的移动端31穿过且伸出于所述上板11；顶块组件4，固设于外界结构且设于所述上板11背离所述下板12的一侧，所述顶升执行器3的移动端31能够抵接于所述顶块组件4。

全文数据：

权利要求：

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