申请/专利权人：南京大学

申请日：2024-02-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810157A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种转移范德瓦尔斯异质结的方法，包括以下步骤：将范德瓦尔斯异质结黏附在ppc膜上；ppc膜边缘处连接有胶带，用胶带将ppc膜固定在带孔载玻片孔道一端上；带孔载玻片孔道另一端用胶带封住，构成密闭空气腔；ppc膜上的范德瓦尔斯异质结位于密闭空气腔外侧；加热密闭空气腔内的空气，空气膨胀使得ppc膜受力形变成弧形结构；利用干法转移技术将ppc膜上的范德瓦尔斯异质结转移到载体上。本发明极大地提高了在ppc膜上定位范德瓦尔斯异质结的精准度，实现了异质结翻转后落点的精准定位，并且在落下的过程中可以通过温度升高排出气泡从而大大提高了最终异质结的质量，本发明方法简洁高效，具有极大的应用前景。

主权项：1.一种转移范德瓦尔斯异质结的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将范德瓦尔斯异质结黏附在ppc膜（4）上；（2）ppc膜（4）边缘处连接有胶带（5），用胶带（5）将ppc膜（4）固定在带孔载玻片（1）孔道一端上；带孔载玻片（1）孔道另一端用胶带（3）封住，构成密闭空气腔（2）；ppc膜（4）上的范德瓦尔斯异质结位于密闭空气腔（2）外侧；（3）加热密闭空气腔（2）内的空气，空气膨胀使得ppc膜（4）受力形变成弧形结构；（4）利用干法转移技术将ppc膜（4）上的范德瓦尔斯异质结转移到载体（6）上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京大学 一种转移范德瓦尔斯异质结的方法

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