申请/专利权人：皮考逊公司

申请日：2022-05-05

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN115323357B

主分类号：C23C16/458

分类号：C23C16/458;C23C16/455;C23C16/50;H01J37/305;H01J37/20

优先权：["20210510 FI 20215555"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.11.29#实质审查的生效;2022.11.11#公开

摘要：本发明涉及一种衬底处理装置和方法。一种衬底处理装置100，包括：反应室50；外室80，至少部分地围绕所述反应室50并且在其间形成中间体积70；以及所述反应室50内的衬底支撑件40，包括中空内部体积42，其中所述中空内部体积42和所述中间体积70通过从所述中空内部体积42延伸到所述中间体积70的通道45流体连通。

主权项：1.一种衬底处理装置100，包括：反应室50；外室80，至少部分地围绕所述反应室50并且在其间形成中间体积70；以及衬底支撑件40，位于所述反应室50内，包括中空内部体积42，其中所述中空内部体积42和所述中间体积70通过从所述中空内部体积42延伸到所述中间体积70的通道45流体连通；并且其中所述通道45容纳布线43，所述布线在所述通道45内从所述衬底支撑件40延伸到所述中间体积70。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 皮考逊公司 衬底处理装置和方法

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