申请/专利权人：南京高华科技股份有限公司

申请日：2022-10-13

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN115560884B

主分类号：G01L1/14

分类号：G01L1/14;H01G4/30;H01G4/38

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2023.01.20#实质审查的生效;2023.01.03#公开

摘要：本发明提供一种触觉压力传感器及其制备方法，触觉压力传感器包括触头层、上电极层、上介质层、中介质层、下介质层和下电极层，所述上电极层和所述上介质层之间设置第一电极，所述上介质层和所述中介质层之间设置第二电极，所述中介质层和所述下介质层之间设置第三电极，所述下介质层和所述下电极层之间设置第四电极；所述第一电极和所述第二电极构成第一平板电容器，所述第二电极和所述第三电极构成第二平板电容器，所述第三电极和所述第四电极构成第三平板电容器，且所述第一平板电容器、所述第二平板电容器、所述第三平板电容器并联设置。本发明的一个技术效果在于，结构设计合理，有助于提高触觉压力传感器的分辨率。

主权项：1.一种触觉压力传感器，其特征在于，包括触头层、上电极层、上介质层、中介质层、下介质层和下电极层，且所述触头层、上电极层、上介质层、中介质层、下介质层和下电极层由上至下依次叠置；所述上电极层和所述上介质层之间设置第一电极，所述上介质层和所述中介质层之间设置第二电极，所述中介质层和所述下介质层之间设置第三电极，所述下介质层和所述下电极层之间设置第四电极；所述第一电极和所述第三电极短接，所述第二电极和所述第四电极短接，所述第一电极和所述第二电极构成第一平板电容器，所述第二电极和所述第三电极构成第二平板电容器，所述第三电极和所述第四电极构成第三平板电容器，且所述第一平板电容器、所述第二平板电容器、所述第三平板电容器并联设置；所述触头层的中部设置有朝远离所述上电极层方向延伸的凸起；所述上介质层的朝向所述上电极层的一侧设置有第一支撑单元和第一形变单元；所述第一支撑单元的位置与所述触头层的凸起的位置相对应，所述第一形变单元环设于所述第一支撑单元的周围；所述第一支撑单元为棱台结构，所述棱台结构的顶面与所述上电极层连接，底面与所述上介质层连接；所述第一形变单元包括多个间隔设置的金字塔结构，且所述金字塔结构的尖部与第一电极层连接，底部与所述上介质层连接；所述下介质层的朝向所述中介质层的一侧设置有第二支撑单元和第二形变单元；所述第二支撑单元的位置与所述第一支撑单元的位置相对应，所述第二形变单元的位置与所述第一形变单元的位置相对应，且所述第二支撑单元与所述第一支撑单元的形状、大小相同，所述第一形变单元与所述第二形变单元的形状、大小相同；第一电极包括四个依次串联的第一子电极，四个所述第一子电极呈矩阵分布，每个所述第一子电极的底部均与所述金字塔结构的尖部连接；第三电极包括四个依次串联的第三子电极，四个所述第三子电极呈矩阵分布，每个所述第三子电极的底部均与所述金字塔结构的尖部连接；所述第一子电极的位置与所述第三子电极的位置一一对应。

全文数据：

权利要求：

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