申请/专利权人：大连华邦化学有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117463108B

主分类号：B01D53/02

分类号：B01D53/02;B01D46/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：传统的压缩空气纯化装置一般通过设置常放空路以减少死气累积，不仅造成原料气大量的浪费，同时无法满足半导体生产对于高品质压缩空气的需求，本发明公开了一种压缩空气的纯化装置及控制方法，涉及压缩空气纯化领域，包括：并联设置的第一吸附塔和第二吸附塔，通过充压置换去除吸附塔内积存的死气，替代了原有纯化装置通过常放空路去除死气的形式，每个再生周期需要放出的压缩空气仅为再生以及充压置换所需的压缩空气量，传统的置换过程改为充压置换过程，纯化装置中省略了常放空路，减少了常放空路带来的放空浪费，节约了大量压缩空气，进而降低了经济成本，同时，通过多次充压置换可以更好的去除死气，从而提高产品气的品质。

主权项：1.一种压缩空气的纯化装置的控制方法，包括受控于PLC控制器的压缩空气的纯化装置，其特征在于，包括：并联设置的第一吸附塔（11A）和第二吸附塔（11B）；所述第一吸附塔（11A）和第二吸附塔（11B）的进口分别通过第一原料气入口气动阀（5A）和第二原料气入口气动阀（5B）连接原料气入口（1）并分别通过第一再生废气气动阀（26A）和第二再生废气气动阀（26B）连接再生废气出口（29），所述第一吸附塔（11A）的进口与第一再生废气气动阀（26A）之间设有第一水冷却器（25A），所述第二吸附塔（11B）的进口与第二再生废气气动阀（26B）之间设有第二水冷却器（25B）；所述第一吸附塔（11A）和第二吸附塔（11B）的出口分别通过第一产品气气动阀（12A）和第二产品气气动阀（12B）连接产品气出口（16）并分别通过第一再生加热器入口气动阀（21A）和第二再生加热器入口气动阀（21B）连接再生气入口气动阀（17），所述第一吸附塔（11A）的出口与第一再生加热器入口气动阀（21A）之间设有第一再生加热器（22A），所述第二吸附塔（11B）的出口与第二再生加热器入口气动阀（21B）之间设有第二再生加热器（22B）；所述原料气入口（1）与并接的第一原料气入口气动阀（5A）和第二原料气入口气动阀（5B）的节点之间依次设有原料气入口手阀（2）、流量计（3）和原料气压力传感器（4）；所述再生废气出口（29）与并接的第一再生废气气动阀（26A）和第二再生废气气动阀（26B）的节点之间设有再生废气出口阀（27），所述再生废气出口阀（27）的进口与出口并联连接针阀（28）；所述产品气出口（16）与并接的第一产品气气动阀（12A）和第二产品气气动阀（12B）的节点之间依次设有产品气出口手阀（15）、产品气压力传感器（14）和过滤器（13）；所述再生气入口气动阀（17）的进口并接在所述过滤器（13）与并接的第一产品气气动阀（12A）和第二产品气气动阀（12B）的节点之间的管道上；所述再生气入口气动阀（17）的出口与并接的第一再生加热器入口气动阀（21A）和第二再生加热器入口气动阀（21B）的节点之间依次设有减压器（18）、再生气压力传感器（19）和再生气限流孔板（20）；设有均压气动阀（23）和限流孔板（24）的管路一端与所述第一吸附塔（11A）与第一再生加热器入口气动阀（21A）之间的管路并接，另一端与所述第二吸附塔（11B）与第二再生加热器入口气动阀（21B）之间的管路并接；所述压缩空气的纯化装置采用包括以下步骤的控制方法控制；S1：打开原料气入口手阀（2），原料气通过原料气入口（1）进入到压缩空气的纯化装置中，通过流量计（3）进行监控，当流量不足时，PLC控制器报警提示，通过原料气压力传感器（4）监控原料气压力情况，当原料气压力不处于设定的压力范围时，PLC控制器报警提示；通过PLC控制器控制第一原料气入口气动阀（5A）打开，原料气进入到第一吸附塔（11A）中，对原料气杂质进行吸附以获得产品气，产品气从第一产品气气动阀（12A）输出，经过滤器（13）将产品气中含有的固态颗粒物脱出，通过产品气压力传感器（14）监控产品气压力，产品气通过产品气出口手阀（15），经过产品气出口（16）输出，当第一吸附塔（11A）达到饱和时，进入S2；S2：PLC控制器将当前工作的第一吸附塔（11A）切换为第二吸附塔（11B），产品气从第二产品气气动阀（12B）输出，经过再生气入口气动阀（17），通过减压器（18）将压力调节至再生所需的压力，通过再生气压力传感器（19）进行压力监控，再生气压力传感器（19）根据设定的压力阈值报警，通过再生气限流孔板（20）调节至再生所需流量，通过PLC控制器打开第一再生加热器入口气动阀（21A），再生气进入到第一再生加热器（22A）加热至再生所需温度，之后进入到第一吸附塔（11A）中，对吸附剂进行加热再生，再生废气通过第一水冷却器（25A）对再生废气进行冷却，冷却后的再生废气经过第一再生废气气动阀（26A）和再生废气出口阀（27）后，从再生废气出口（29）排出，完成再生，进入S3；S3：产品气经过第二再生加热器（22B），通过限流孔板（24）调节至充压置换所需流量，第一吸附塔（11A）和第二吸附塔（11B）通过均压气动阀（23）均压，产品气经过第一再生加热器（22A）后进入到再生完成的第一吸附塔（11A）中，此时再生废气出口阀（27）和针阀（28）关闭，充入产品气直至第一吸附塔（11A）内部达到工作压力，所述工作压力为9bar，达到工作压力后关闭均压气动阀（23），打开第一再生废气气动阀（26A）和针阀（28），将第一吸附塔（11A）的压力卸至常压状态，卸完压力后重复S3上述步骤，PLC控制器内设定重复次数，PLC控制器内设定的重复次数至少为20次，达到重复次数后，完成充压置换。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 大连华邦化学有限公司 一种压缩空气的纯化装置及控制方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD