申请/专利权人：巴斯夫欧洲公司;韦恩州立大学

申请日：2018-11-09

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN111727271B

主分类号：C23C16/20

分类号：C23C16/20;C23C16/06;C23C16/08;C23C16/455;C07F5/06;C07F17/00

优先权：["20171220 US 62/763,125","20180307 US 62/763,136"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.01.01#实质审查的生效;2020.09.29#公开

摘要：本发明属于制备无机含金属膜的方法的领域。该制备无机含金属膜的方法包括使固体基材与呈气态的通式I或II化合物接触，式I，式II，其中A为NR2或OR，其中R为烷基、链烯基、芳基或甲硅烷基，E为NR或O，n为1、2或3，且R'为氢、烷基、链烯基、芳基或甲硅烷基，其中如果n为2且E为NR或A为OR，则NR或OR中的至少一个R在1位不带有氢原子。

主权项：1.一种制备无机含金属膜的方法，包括使固体基材与呈气态的通式I或II化合物接触： 其中A为NR2或OR，其中R为烷基、链烯基、芳基或甲硅烷基，E为NR或O，n为1、2或3，且R'为氢、烷基、链烯基、芳基或甲硅烷基，其中如果n为2且E为NR或A为OR，则NR或OR中的至少一个R在1位不带有氢原子，其中在使固体基材与通式I或II化合物接触之前，使含金属化合物由气态沉积至固体基材上。

全文数据：

权利要求：

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