申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学

申请日：2022-01-19

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN114562954B

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24;G01B9/023

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.06.17#实质审查的生效;2022.05.31#公开

摘要：本发明公开了一种柱面镜的CGH补偿绝对检验方法，该方法先通过带有标准平面镜头的平面波干涉仪和CGH补偿器对柱面镜的共焦位置进行零位检测，得到检测结果W1，之后绕平行于柱面镜的轴线方向前后翻转CGH补偿器，对柱面镜的共焦位置进行零位检测，得到检测结果W2，最后移去柱面镜，CGH补偿器前后翻转恢复初始位置，将标准平面反射镜置于柱面测试波的焦线位置进行检测，得到检测结果W3，通过计算得到柱面镜的CGH补偿面形误差绝对检验结果。本发明的方法通过三个检验位置完全分离出CGH补偿器引入的面形误差，获得柱面镜的CGH补偿绝对检验结果，具有操作简易和精度高的优点。

主权项：1.一种柱面镜的CGH补偿绝对检验方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、利用带有标准平面镜头3的平面波干涉仪2和CGH补偿器4对柱面镜1进行共焦位置零位检验和焦线位置检验：S11、所述平面波干涉仪2经标准平面镜头3发出平面测试波被CGH补偿器4变换为柱面测试波，且柱面测试波的焦线6与柱面镜1的轴线重合，进行共焦位置零位检验并测得第一组数据，存盘为W1；S12、其余检验条件保持不变，所述CGH补偿器4绕平行于柱面镜1的轴线方向前后翻转，调整柱面镜1到CGH补偿器4的轴向距离，使得柱面测试波的焦线6仍与柱面镜1的轴线重合，进行共焦位置零位检验并测得第二组数据，存盘为W2；S13、移去柱面镜1，CGH补偿器4前后翻转恢复初始位置，将标准平面反射镜5置于柱面测试波的焦线位置，柱面测试波的焦线6与标准平面反射镜5的X轴方向截线重合，进行检测测得第三组数据，存盘为W3；S2、计算柱面镜的CGH补偿面形误差绝对检验结果T；S21、计算所述CGH补偿器4引入的面形误差Hx,y：Hx,y＝12[W1x,y-W2x,y+W3x,y+W3x,-y-R-x,y-R-x,-y-2Px+Δx,y]其中，R为标准平面镜头3的参考面误差，P为标准平面反射镜5的X轴方向截线的轮廓误差，Δ为CGH补偿器4前后翻转引入的面形误差，x,y、x,-y、-x,y、-x,-y为镜面上的横向坐标，其中x为平行于柱面镜1轴线方向的X轴坐标，y为垂直于干涉仪光轴的平面内与X轴正交的Y轴坐标；S22、计算所述柱面镜1的面形误差Tx,y：Tx,y＝W1x,y-Hx,y-R-x,y。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 柱面镜的CGH补偿绝对检验方法

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