申请/专利权人:上海隐冠半导体技术有限公司
申请日:2024-01-09
公开(公告)日:2024-04-02
公开(公告)号:CN117536839B
主分类号:F04B43/14
分类号:F04B43/14;H02N2/00;F04B49/06
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.02#授权;2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.09#公开
摘要:本公开提供了一种压电泵、控制方法、控制装置及存储介质,涉及流体泵技术领域。本公开涉及的压电泵包括流道,所述流道包括流道入口、流道出口以及位于所述流道入口和所述流道出口之间的两个以上形变区,所述形变区包括压力传感器且所述形变区的至少部分流道壁由柔性压电形变层形成;所述压力传感器用于获取其所在形变区的流道壁的压力值,进而获得其所在形变区的容积信息;所述形变区的柔性压电形变层能够在电信号的驱动下产生正向形变或负向形变,进而改变该形变区的容积。
主权项:1.一种压电泵,包括流道,其特征在于,所述流道包括流道入口、流道出口以及位于所述流道入口和所述流道出口之间的两个以上形变区,所述形变区包括压力传感器且所述形变区的至少部分流道壁由柔性压电形变层形成;所述压力传感器用于获取其所在形变区的流道壁的压力值,进而获得其所在形变区的容积信息;所述形变区的柔性压电形变层能够在电信号的驱动下产生正向形变或负向形变,进而改变该形变区的容积;用于驱动所述柔性压电形变层的所述电信号与两个以上所述形变区中的压力传感器的输出信号相关,以使得相邻两个形变区中的第一形变区的容积缩小到目标小容积时,第二形变区的容积增大到目标大容积;其中,所述第一形变区相对于所述第二形变区更靠近所述流道入口;所述压电泵还包括控制部,每一所述形变区的所述压力传感器以及每一所述形变区的所述柔性压电形变层均与所述控制部具有信号连接,以便所述控制部获取所述压力传感器的输出信号,并基于所述压力传感器的输出信号输出所述电信号,来驱动柔性压电形变层产生形变。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海隐冠半导体技术有限公司 一种压电泵、控制方法、控制装置及存储介质
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