申请/专利权人：扬州六如新能源科技有限公司

申请日：2023-08-04

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710273U

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型公开了一种单晶硅片生产用插片机构，涉及插片机构技术领域，包括底座，底座顶部的一端安装有安装座，安装座的内底壁安装有固定座，固定座的顶部放置有存放槽，存放槽内腔的两端等间距连接有承载板，底座顶部的另一端安装有竖板，竖板内侧的顶部安装有第二电动推杆，第二电动推杆的输出端安装有活动座，活动座的前后两端均连接有连接座，两组连接座的中心处均固定有第一电动推杆。本实用新型通过平移组件、竖板、真空吸盘、升降板、推板、第一电动推杆、第二电动推杆、连接座和活动座的配合设置，从而使得该装置可将单个硅片快速插入在一定高度的承载板内，可实现快速连续插片的能力，提高了该机构的插片效率。

主权项：1.一种单晶硅片生产用插片机构，包括底座7，其特征在于：所述底座7顶部的一端安装有安装座1，所述安装座1的内底壁安装有固定座6，所述固定座6的顶部放置有存放槽4，所述存放槽4内腔的两端等间距连接有承载板3，所述底座7顶部的另一端安装有竖板10，所述竖板10内侧的顶部安装有第二电动推杆15，所述第二电动推杆15的输出端安装有活动座17，所述活动座17的前后两端均连接有连接座16，两组所述连接座16的中心处均固定有第一电动推杆14，两组所述第一电动推杆14的输出端安装有升降板12，所述升降板12底部的两端等间距连接有真空吸盘11，所述底座7的内腔设置有平移组件8，所述平移组件8的顶部安装有推板13。

全文数据：

权利要求：

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