申请/专利权人：甘肃旭晶新材料有限公司;北京中企祥科技有限公司

申请日：2023-08-04

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710268U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/67;B08B3/02;B08B3/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本公开提供一种清洗花篮，包括两个框架板，两个所述框架板相对设置；至少一个竖向晶片插位板，所述竖向晶片插位板连接于两个所述框架板的下部之间，用于支撑晶片的底部；和两个横向晶片插位板，两个所述横向晶片插位板连接于两个框架板的上部之间，且相互间隔设置，用于固定晶片的两侧；其中，所述竖向晶片插位板与所述横向晶片插位板上均沿插位板的长度方向相互间隔设置有多个供晶片插设的插位。本公开能够有效解决现有蓝宝石晶片清洗花篮对晶片的遮挡较多，无法将晶片表面的脏污及清洗药剂完全清理干净，影响晶片表面质量的问题。

主权项：1.一种清洗花篮，其特征在于，包括：两个框架板10，两个所述框架板10相对设置；至少一个竖向晶片插位板2，所述竖向晶片插位板2连接于两个所述框架板10的下部之间，用于支撑晶片的底部；和两个横向晶片插位板3，两个所述横向晶片插位板3连接于两个框架板10的上部之间，且相互间隔设置，用于固定晶片的两侧；其中，所述竖向晶片插位板2与所述横向晶片插位板3上均沿插位板的长度方向相互间隔设置有多个供晶片插设的插位。

全文数据：

权利要求：

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