申请/专利权人:三星电子株式会社
申请日:2023-09-28
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN117855075A
主分类号:H01L21/66
分类号:H01L21/66
优先权:["20221006 KR 10-2022-0127736"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.04.09#公开
摘要:本发明公开一种重叠测量方法,在该重叠测量方法中,提供具有编程的重叠值的重叠标记。用电子束扫描重叠标记以获得电压对比图像。从电压对比图像数据获得根据重叠值而变化的缺陷函数。对缺陷函数执行自互相关以确定重叠。
主权项:1.一种重叠测量方法,包括:提供具有设计的重叠值的重叠标记;用电子束扫描所述重叠标记以获得电压对比图像;从所述电压对比图像的电压对比图像数据获得缺陷函数,所述缺陷函数根据所述设计的重叠值而变化;以及对所述缺陷函数执行自互相关以确定重叠。
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