申请/专利权人：北京控制工程研究所

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117848480A

主分类号：G01H9/00

分类号：G01H9/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及超精密测量技术领域，特别涉及一种隔振平台的残余振动检测装置及方法。该装置包括：控制器以及沿光路行进方向依次设置的一个激光器、一个准直镜、一个分光镜、两个光学滤波器和两个光学探测器，其中：分光镜用于对经过准直镜准直处理的平行激光进行分束，得到两个分束激光；光学滤波器用于对分束激光进行降噪处理，以使分束激光在光学探测器上形成清晰光斑；光学探测器与控制器电连接，光学探测器用于对清晰光斑进行光电转换，得到清晰光斑的位置信息，并将位置信息发送给控制器；控制器用于对位置信息进行计算，得到隔振平台的残余振动情况。本发明可以提供高精度的残余振动测量结果，同时有效降低对隔振平台残余振动的测量难度。

主权项：1.一种隔振平台的残余振动检测装置，其特征在于，包括控制器以及沿光路行进方向依次设置的一个激光器、一个准直镜、一个分光镜、两个光学滤波器和两个光学探测器，其中：所述激光器、所述准直镜和两个所述光学探测器均位于隔振平台的外侧，所述分光镜和两个所述光学滤波器均位于所述隔振平台的上表面，所述激光器、所述准直镜、所述分光镜、第一光学滤波器和第一光学探测器位于同一条第一直线上，所述分光镜、第二光学滤波器和第二光学探测器位于同一条第二直线上，所述第一直线和所述第二直线垂直；所述分光镜用于对经过所述准直镜准直处理的平行激光进行分束，得到两个分束激光；两个所述光学滤波器依次用于对一个所述分束激光进行降噪处理，以使一个所述分束激光在所述第一光学探测器上形成第一清晰光斑，另一个所述分束激光在所述第二光学探测器上形成第二清晰光斑；两个所述光学探测器均与所述控制器电连接，每个所述光学探测器均用于对一个所述清晰光斑进行光电转换，得到一个所述清晰光斑的位置信息，并将所述位置信息发送给所述控制器；所述控制器用于对所述位置信息进行计算，得到所述隔振平台的残余振动情况。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京控制工程研究所 一种隔振平台的残余振动检测装置及方法

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