申请/专利权人：长春长光启衡传感技术有限公司

申请日：2024-01-05

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117848203A

主分类号：G01B7/312

分类号：G01B7/312

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及偏心度检测技术领域，具体提供一种圆光栅刻划的偏心修正装置及方法，将圆光栅胚体放置在二维运动滑台上，转动精密转台，测量圆光栅胚体的偏心量，并将偏心量调整到预期值；在圆光栅胚体上刻划辅助码道，利用读数头对辅助码道进行误差测量，计算偏心值最大时的相位角和角度误差，再通过二维运动滑台调整圆光栅胚体的位置，使读数头的读数为偏心值最大时的相位角与角度误差的差，最后刻划工作码道。本发明通过在工作码道刻划前先刻划一条辅助码道，可以检测圆光栅胚体首次调偏心后残留的偏心误差参数，再利用读数头测量偏心量精度高的优点，利用读数头与二维运动滑台调整相配合，再次消除偏心误差，提高了圆光栅胚体调偏心的精确性。

主权项：1.一种圆光栅刻划的偏心修正装置，其特征在于，包括：精密转台、二维运动滑台、电感测微仪、读数头和激光器；其中，所述精密转台是圆光栅胚体刻划时的角位移基准，用于带动圆光栅胚体转动；所述二维运动滑台设于所述精密转台上，所述二维运动滑台用于放置圆光栅胚体，带动圆光栅胚体运动以调整圆光栅胚体的偏心量；所述电感测微仪设于圆光栅胚体的柱面外侧，用于检测圆光栅胚体的偏心量；所述激光器设于圆光栅胚体的柱面外侧，用于产生激光脉冲，对圆光栅胚体进行刻划；所述读数头设于圆光栅胚体的柱面外侧，用于对刻划后的圆光栅胚体进行精度检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长春长光启衡传感技术有限公司 圆光栅刻划的偏心修正装置及方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD