申请/专利权人：速普仪器(太仓)有限公司

申请日：2023-11-28

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117849082A

主分类号：G01N23/2202

分类号：G01N23/2202;G01N23/2251

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本申请涉及扫描电镜叠层制样方法，包括步骤：在扫描电镜样品表面喷镀第一金属，以形成连续导电的基底层；在基底层上喷镀第二金属，以形成连续导电的叠加层，且叠加层的导电性能高于基底层的导电性能。解决了单金属膜层因导电性差而导致的荷电问题，从而避免单金属膜层因大颗粒团聚对样品形貌的覆盖失真，不仅在荷电消除方面优于单个靶材溅射，对于扫描电镜样品形貌衬度提高也有增益，有利于实现导电差的样品特别是粉末类、隔膜类及其他多孔高分子类样品在扫描电镜尤其是场发射扫描电镜中有更好的成像效果；而且相对于非常规解决方案，具有工艺简单、通用性强及耗材易于获得等优点。

主权项：1.一种扫描电镜叠层制样方法，其特征在于，包括步骤：在扫描电镜样品表面喷镀第一金属，以形成连续导电的基底层；在基底层上喷镀第二金属，以形成连续导电的叠加层，且所述叠加层的导电性能高于所述基底层的导电性能。

全文数据：

权利要求：

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