申请/专利权人：深圳技术大学

申请日：2024-01-31

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117848552A

主分类号：G01L1/16

分类号：G01L1/16;G01B7/16;G01K7/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供了一种多参量同时测量的无源射频柔性触觉传感器及制备方法，该传感器用于测量温度、压力以及弯曲度，所述传感器包括基底层、底电极层、压电薄膜层以及上电极层，所述底电极层、所述压电薄膜层以及上电极层由下至上依次溅射于所述基底层上；所述压电薄膜层为改性的锆钛酸铅，所述改性的锆钛酸铅的化学式为：Pb1.2ZrxTi1‑xO3。本方案的柔性触觉传感器基于对传统压电材料锆钛酸铅PZT的改良，使其具备更卓越的介电性能和更低的纵波声速，从而提高对压力和弯曲信号的感知灵敏度。本方案的柔性触觉传感器具备同时测量压力、弯曲和温度的能力，使其在多重环境下能够提供全面而综合的感知功能。这些创新点为该传感器在各个领域的应用提供了广泛的应用前景。

主权项：1.一种多参量同时测量的无源射频柔性触觉传感器，其特征在于，用于测量温度、压力以及弯曲度，所述传感器包括基底层、底电极层、压电薄膜层以及上电极层，所述底电极层、所述压电薄膜层以及上电极层由下至上依次溅射于所述基底层上；所述压电薄膜层为改性的锆钛酸铅，所述改性的锆钛酸铅的化学式为：Pb1.2ZrxTi1-xO3。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳技术大学 多参量同时测量的无源射频柔性触觉传感器及制备方法

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