申请/专利权人：东和株式会社

申请日：2022-06-22

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117859052A

主分类号：G01N21/88

分类号：G01N21/88;H01L21/301

优先权：["20211122 JP 2021-189566"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：检查系统基于检查对象物的拍摄图像对检查对象物进行检查。检查系统包括照明部、照相机、控制部和存储部。照明部能够变更光的照射状态，对检查对象物照射光。照相机在对检查对象物照射光的状态下生成拍摄图像。控制部分别控制照明部和照相机生成在各自不同的照射状态下生成的多个拍摄图像。存储部存储基准直方图。控制部将基于多个拍摄图像分别生成的各直方图与基准直方图进行比较，基于比较的结果确定在检查中使用的照射状态。

主权项：1.一种检查系统，为基于检查对象物的拍摄图像对所述检查对象物进行检查的检查系统，包括：照明部，能够变更光的照射状态，对所述检查对象物照射光；照相机，在对所述检查对象物照射光的状态下生成所述拍摄图像；控制部，分别控制所述照明部和所述照相机生成在各自不同的所述照射状态下生成的多个拍摄图像；和存储部，存储基准直方图，所述控制部将基于所述多个拍摄图像分别生成的各直方图与所述基准直方图进行比较，基于所述比较的结果确定在所述检查中使用的所述照射状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东和株式会社 检查系统、控制方法、电子部件的制造方法和切断装置

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