申请/专利权人:中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
申请日:2023-10-13
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN117840575A
主分类号:B23K26/06
分类号:B23K26/06;B23K26/046;B23K26/70
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开
摘要:本申请公开了一种真空环境激光烧蚀用透镜保护装置,包括屏蔽罩,所述屏蔽罩一端贴紧光阑,所述光阑靠近电极部,所述电极部与电源相连;所述屏蔽罩、所述光阑、所述电极部分别通过支撑部固定在位移台上;解决了真空环境脉冲激光烧蚀过程中的透镜保护问题,可以有效保护镜片不受等离子体的加热影响,延长镜片使用寿命;同时能够减少激光烧蚀产物对真空舱的污染;且不需要频繁更换镜片,不需要使用成本更高的适应材质镜片,能够有效降低使用成本。
主权项:1.一种真空环境激光烧蚀用透镜保护装置,其特征在于,包括屏蔽罩,所述屏蔽罩一端贴紧光阑,所述光阑靠近电极部,所述电极部与电源相连;所述屏蔽罩、所述光阑、所述电极部分别通过支撑部固定在位移台上;通过所述位移台调整位置使所述屏蔽罩中心、所述光阑中心、所述电极部中心通过激光光轴;所述屏蔽罩接地,且所述屏蔽罩、所述光阑、所述电极部、所述位移台均位于真空环境中。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国人民解放军战略支援部队航天工程大学 一种真空环境激光烧蚀用透镜保护装置
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