申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117672953B

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/683;G01R31/28;G01R1/067

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本申请提供一种晶圆翻转机构及探针台。晶圆翻转机构包括：翻转件，翻转件用于固定并翻转晶圆，翻转件具有相背的第一端侧及第二端侧；驱动件，驱动件邻近翻转件的第一端侧设置，驱动件连接于翻转件，并能够驱动翻转件沿第一方向及第一方向的反方向转动，第一方向垂直于第一端侧及第二端侧的排布方向；及辅助件，辅助件包括辅助环及支撑件，辅助环套设于翻转件的第二端侧并固定连接于翻转件，辅助环能够相对支撑件沿第一方向及第一方向的反方向转动，辅助环具有旋转轴，旋转轴穿设于翻转件，支撑件承载辅助环并对辅助环限位。辅助环的设置能够使得翻转件的转动过程更加平稳，从而有效地提升晶圆翻转机构的精准度与可靠性。

主权项：1.一种晶圆翻转机构，其特征在于，所述晶圆翻转机构包括：翻转件，所述翻转件用于固定并翻转晶圆，所述翻转件具有相背的第一端侧及第二端侧；驱动件，所述驱动件邻近所述翻转件的第一端侧设置，所述驱动件连接于所述翻转件，并能够驱动所述翻转件沿第一方向及第一方向的反方向转动，所述第一方向垂直于所述第一端侧及所述第二端侧的排布方向；及辅助件，所述辅助件包括辅助环及支撑件，所述辅助环套设于所述翻转件的第二端侧并固定连接于所述翻转件，所述辅助环能够相对所述支撑件沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述辅助环具有旋转轴，所述旋转轴穿设于所述翻转件，所述支撑件承载所述辅助环并对所述辅助环限位；其中，所述辅助环包括主动盘，所述主动盘固定连接于所述翻转件，所述主动盘包括圆环部及定位部，所述圆环部关于所述旋转轴对称设置，所述圆环部的直径大于所述翻转件的第二端侧的最大宽度，所述定位部连接于所述圆环部的内周缘，所述定位部沿第二方向延伸，所述第二方向为所述第二端侧的宽度方向，且所述定位部套设于所述翻转件的第二端侧；所述支撑件包括支撑脚座及第一滚轮，所述支撑脚座限位所述第一滚轮，且所述第一滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动；所述辅助环还包括转轮，所述转轮连接于所述圆环部背离所述翻转件的一侧，所述转轮关于所述旋转轴对称设置，且所述转轮抵接于所述第一滚轮，并能够带动所述第一滚轮沿所述第一方向及第一方向的反方向转动；所述支撑件还包括限位件，所述限位件包括轮轴压板、第二滚轮及调节板，所述轮轴压板一端连接于所述支撑脚座，所述轮轴压板的另一端通过所述第二滚轮抵接至所述转轮，所述第二滚轮设置于所述转轮背离所述第一滚轮的一侧，且所述第二滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述调节板连接于所述轮轴压板邻近所述支撑脚座的一侧，并用于调节所述轮轴压板相对所述转轮的位置。

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权利要求：

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