申请/专利权人：浙江大学

申请日：2020-08-05

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN111897145B

主分类号：G02F1/01

分类号：G02F1/01;G02F1/00;G02B6/124

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2020.11.24#实质审查的生效;2020.11.06#公开

摘要：本发明涉及一种基于亚波长光栅超表面的热控相位调制器，包括第一层底层的透明介质基底、第二层金属薄膜层、第三层介质薄膜层、第四层介质光栅层、第五层高折射率介质光栅层、第六层热光介质层；所述的介质光栅层和高折射率介质光栅层为周期性光栅阵列，光栅周期同为p，光栅占空比同为q，厚度分别为t1和t2，其中t1t2；所述的基于该亚波长光栅超表面结构的热控相位调制器存在一个高Q值共振峰，高Q峰处伴随着剧烈的相位突变，且相位突变曲线将随着外界折射率改变而发生漂移。基于本发明可实现高灵敏的热控相位调制，从而实现空间光调制器的功能，可用于光通信、显示与成像、光信号处理、自动驾驶、微波信号处理等领域。

主权项：1.一种基于亚波长光栅超表面的热控相位调制器，其特征在于，包括第一层底层的透明介质基底（1）、第二层金属薄膜层（2）、第三层介质薄膜层（3）、第四层介质光栅层（4）、第五层高折射率介质光栅层（5）、第六层热光介质层（6）；所述的介质光栅层（4）和高折射率介质光栅层（5）为周期性光栅阵列，光栅周期同为p，光栅占空比同为q，厚度分别为t1和t2，其中t1t2；所述的基于该亚波长光栅超表面的热控相位调制器存在一个高Q值共振峰，高Q峰处伴随着剧烈的相位突变，且相位突变曲线将随着外界折射率改变而发生漂移；通过改变光栅参数调整工作波长，通过改变光栅周期p参量，改变相位调制器工作波长，可用于可见光至近红外波段范围的相位调制；所述的热光介质层（6）具备热光效应，通过控制温度来调控工作波长的相位；所述的第一层底层的透明介质基底（1）、第二层金属薄膜层（2）之间设有加热电极阵列（7），或者第六层热光介质层（6）上设有加热电极阵列（7），实现单独调控单元像素的相位，加热电极阵列（7）采用透明导电材料或者金属材料，所述的透明导电材料择一选自铟锡氧化物、石墨烯，所述的金属材料择一选自钛、铬、钨。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学 一种基于亚波长光栅超表面的热控相位调制器

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