申请/专利权人：安徽国芯光刻技术有限公司

申请日：2021-12-21

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN114217425B

主分类号：G02B15/14

分类号：G02B15/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.08.12#专利申请权的转移;2022.04.08#实质审查的生效;2022.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种用于光刻机的倍率内调镜头，由四组透镜组组合而成，从左到右依次为第一正透镜组G1、第二正透镜组G2、第三负透镜组G3、第四正透镜组G4，第二正透镜组G2为调节镜组；四组透镜组的参数满足关系式1F1F34M，其中F1为透镜组G1的焦距，F34为透镜组G3和透镜组G4的组合焦距，M为镜头倍率；四组透镜组的参数满足关系式0F12L1，F1L1，其中L1为物面到第一正透镜组主面的距离，F1为透镜组G1的焦距，F12为透镜组G1和透镜组G2的组合焦距；四组透镜组的参数满足关系式F34L5，F4L5，其中L5为像面到第四透镜组G4主面的距离，F4为透镜组G4的焦距，F34为透镜组G3和透镜组G4的组合焦距。本发明调节方便，仅需将其中一枚镜片第二正透镜组沿光轴前后移动即可实现。

主权项：1.一种用于光刻机的倍率内调镜头，其特征在于，由四组透镜组组合而成，从左到右依次为第一正透镜组、第二正透镜组、第三负透镜组、第四正透镜组，第二正透镜组为调节镜组；四组透镜组的参数满足关系式1F1F34M，其中F1为第一正透镜组的焦距，F34为第三负透镜组和第四正透镜组的组合焦距，M为镜头倍率；四组透镜组的参数满足关系式0F12L1，F1L1，其中L1为物面到第一正透镜组主面的距离，F1为第一正透镜组的焦距，F12为第一正透镜组和第二正透镜组的组合焦距；四组透镜组的参数满足关系式F34L5，F4L5，其中L5为像面到第四正透镜组主面的距离，F4为第四正透镜组的焦距，F34为第三负透镜组和第四正透镜组的组合焦距；通过改变透镜组G2的轴向位置，改变透镜组G1和透镜组G2的组合焦距F12，与此同时，透镜组G1和透镜组G2组合透镜的焦面位置S1不发生改变；移动透镜组G2时，工作距离和远心度不变，倍率实现改变。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽国芯光刻技术有限公司 一种用于光刻机的倍率内调镜头

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