申请/专利权人：原子能和替代能源委员会

申请日：2020-11-26

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN112951947B

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/115;H01L31/0203;H01L23/26

优先权：["20191127 FR 1913331"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.11.11#实质审查的生效;2021.06.11#公开

摘要：本发明涉及一种用于制造检测装置1的方法，包括以下步骤：形成堆叠件10，其包括热检测器20、矿物牺牲层15以及具有横向凹口4的薄封装层16；形成堆叠件30，其包括薄支撑层33、吸气剂部分34以及薄保护层35；将薄支撑层33与薄封装层16直接键合，使得吸气剂部分34位于横向凹口4中；形成进出口17，并且去除矿物牺牲层15和薄保护层35；沉积薄密封层5，阻塞进出口17。

主权项：1.一种用于制造用于检测电磁辐射的装置的方法，其包括以下步骤：形成第一堆叠件，其包括：至少一个热检测器，其放置在第一衬底上，旨在检测电磁辐射，并且覆盖有由能够通过第一化学蚀刻去除的矿物材料制成的至少一个矿物牺牲层；薄封装层，其在热检测器上方延伸，并且有助于界定所述热检测器所在的空腔，所述薄封装层包括放置在矿物牺牲层上的上部；被称为横向凹口的至少一个凹口，其延伸穿过所述薄封装层的上部和所述矿物牺牲层的一部分，并且在与第一衬底的平面平行的平面中与热检测器相距一定距离；形成第二堆叠件，其包括：被称为支撑层的薄支撑层，其对电磁辐射是透明的，放置在支撑衬底上，至少一个吸气剂部分，其设置在薄支撑层上并且部分覆盖所述薄支撑层，以及薄保护层，其覆盖所述吸气剂部分，由能够通过第二化学蚀刻去除的碳质材料制成；通过使薄支撑层接触所述薄封装层的上部并与其直接键合来组装第一堆叠件和第二堆叠件，使得吸气剂部分位于所述横向凹口中；然后穿过所述薄支撑层和所述薄封装层的上部形成至少一个释放进出口，其在所述矿物牺牲层上开口；然后通过所述第一化学蚀刻去除矿物牺牲层；通过所述第二化学蚀刻去除薄保护层；在所述薄支撑层上沉积薄密封层，以阻塞所述释放进出口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 原子能和替代能源委员会 转移和直接键合含吸气剂材料的薄层的检测装置制造方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD