申请/专利权人：株式会社尼康

申请日：2020-02-03

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN113330370B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H01L21/673

优先权：["20190206 JP 2019-020167"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.02.08#实质审查的生效;2021.08.31#公开

摘要：本发明提供一种掩模配接器、其安装工具、曝光装置以及元件制造方法，可提高曝光装置的曝光精度。本发明的掩模配接器的一形态是在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在形成有所述图案的区域外支撑所述掩模的支撑部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第一被检测部，在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第一被检测部包含与所述掩模配接器相关的信息。

主权项：1.一种掩模配接器，载置于将在掩模上所具有的图案曝光于基板上的曝光装置上，且保持所述掩模，其特征在于，所述掩模配接器包括：框部，包围所述掩模；支撑部，设置于所述框部，且支撑所述掩模的下表面中的所述图案的外侧中的所述下表面的对向的两边的附近；第一被检测部，设置于所述支撑部，能够利用所述曝光装置的检测部来检测；以及第一定位部，包括设置于所述框部，且与为所述掩模的侧面并沿着所述两边的方向对向的两个表面中的一个表面接触的接触部、及对另一个表面施加弹性力的弹性部，并且所述第一被检测部包含与所述掩模配接器相关的信息，所述接触部与所述弹性部以沿着所述两边的方向排列的方式配置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社尼康 掩模配接器、其安装工具、曝光装置以及元件制造方法

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