申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2019-05-09

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN110473760B

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32

优先权：["20180510 JP 2018-091444"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2021.03.02#实质审查的生效;2019.11.19#公开

摘要：本发明提供滤波装置和等离子体处理装置，能够调整期望的频率的阻抗。一个实施方式的滤波装置具备多个线圈、多个电容器、多个配线、以及壳体。多个线圈以彼此同轴的方式设置。多个配线分别与多个线圈的一端电连接。多个电容器分别连接在多个线圈的另一端与地之间。壳体电接地。在壳体中收容有多个线圈。多个配线的各个配线的一部分在壳体之中延伸。多个配线的各个配线构成为在壳体之中的长度是可变的。

主权项：1.一种滤波装置，具备：多个线圈，所述多个线圈以彼此同轴的方式设置；多个配线，所述多个配线分别与所述多个线圈的一端电连接；多个电容器，所述多个电容器分别连接在所述多个线圈的另一端与地之间；以及壳体，其电接地，并且在所述壳体中收容有所述多个线圈，其中，所述多个配线的各个配线构成为，至少一部分配线在所述壳体之中延伸，并且该一部分配线在所述壳体之中的长度是可变的，所述多个线圈构成多个线圈组，所述多个线圈组的各线圈组分别包括两个以上的线圈，在所述多个线圈组的各线圈组中，所述两个以上的线圈设置为：各个线圈的卷绕部绕中心轴线以螺旋状延伸，并且各个线圈的卷绕部的单匝线圈在该中心轴线延伸的轴线方向上按顺序重复排列，所述多个线圈组以与所述中心轴线同轴的方式设置，在相对于所述轴线方向的辐射方向上按顺序排列，所述多个线圈组中的第一线圈组的各卷绕部的单匝线圈间的间距比所述多个线圈组中的第二线圈组的各卷绕部的单匝线圈间的间距大，所述第二线圈组设置在所述第一线圈组的内侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 滤波装置和等离子体处理装置

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