申请/专利权人：浙江水晶光电科技股份有限公司

申请日：2020-09-21

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN114253079B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G06T7/50;G06T7/70;G06T7/90

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.04.15#实质审查的生效;2022.03.29#公开

摘要：本发明提供一种灰度光刻的光强矫正方法、装置、设备及存储介质，属于灰度光刻技术领域。灰度光刻的光强矫正方法，包括：获取刻蚀图像中预设区域内坐标点的坐标值以及对应于各坐标值的实测深度值，其中，刻蚀图像为根据设计图像刻蚀后的实际图像，预设区域与设计图像上预设的采样区域相对应；获取设计图像中采样区域内坐标点的坐标值及对应于各坐标值的设计深度值和灰度值；根据坐标值及其对应的设计深度值、灰度值以及实测深度值分别计算确定各灰度值与矫正光强值之间的映射关系。能够对灰度光刻制程中灰度值与光强间的映射关系进行矫正，从而提高最终得到的刻蚀图像的精度。

主权项：1.一种灰度光刻的光强矫正方法，其特征在于，包括：获取刻蚀图像中预设区域内坐标点的坐标值以及对应于各所述坐标值的实测深度值，其中，所述刻蚀图像为根据设计图像刻蚀后的实际图像，所述预设区域与所述设计图像上预设的采样区域相对应；获取所述设计图像中所述采样区域内坐标点的坐标值及对应于各所述坐标值的设计深度值和灰度值；根据所述坐标值及其对应的所述设计深度值、所述灰度值以及所述实测深度值分别计算确定各所述灰度值与矫正光强值之间的映射关系，包括：对于各所述坐标值中的每个坐标值：根据所述坐标值对应的所述灰度值，以及灰度值与设计光强值间的映射关系，获取所述灰度值对应的设计光强值；根据所述坐标值对应的所述设计光强值、所述设计深度值以及所述实测深度值，确定所述坐标值对应的所述矫正光强值；根据所述坐标值对应的所述灰度值和所述矫正光强值，确定所述灰度值与矫正光强值之间的映射关系。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江水晶光电科技股份有限公司 灰度光刻的光强矫正方法、装置、设备及存储介质

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