申请/专利权人：磐石创新(江苏)电子装备有限公司

申请日：2023-07-04

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220753371U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本申请公开了一种硅晶圆片酸腐蚀装置，本装置包括箱体以及设置在箱体内的腐蚀笼，所述箱体的内部设有安装架，所述安装架上设有快速转运机构、水洗槽、快排缓冲箱、酸腐蚀槽、恒温箱体以及药液浓度检测系统，所述水洗槽与酸腐蚀槽并排设置在安装架上方且快速转运机构能够将腐蚀笼在水洗槽与酸腐蚀槽之间来回转运，所述快排缓冲箱设置在水洗槽下方且水洗槽的排放口与快排缓冲箱连通，所述恒温箱体设置在酸腐蚀槽的下方且酸腐蚀槽的下端通过循环管与恒温箱体连通，所述恒温箱体内的药液能够通过计量泵补入到酸腐蚀槽。本申请与现有技术相比：其具有结构设计合理，可以有效防止硅片氧化，得到反光平面与去除前道造成的损伤层。

主权项：1.一种硅晶圆片酸腐蚀装置，包括箱体8以及设置在箱体8内的腐蚀笼10，其特征在于，所述箱体8的内部设有安装架，所述安装架上设有快速转运机构1、水洗槽2、快排缓冲箱3、酸腐蚀槽4、恒温箱体5以及药液浓度检测系统6，所述水洗槽2与酸腐蚀槽4并排设置在安装架上方且快速转运机构1能够将腐蚀笼10在水洗槽2与酸腐蚀槽4之间来回转运，所述快排缓冲箱3设置在水洗槽2下方且水洗槽2的排放口与快排缓冲箱3连通，所述恒温箱体5设置在酸腐蚀槽4的下方且酸腐蚀槽4的下端通过循环管与恒温箱体5连通，所述恒温箱体5内的药液能够通过计量泵补入到酸腐蚀槽4，所述药液浓度检测系统6与酸腐蚀槽4连接并用于实时检测酸腐蚀槽4内的药液浓度信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 磐石创新(江苏)电子装备有限公司 一种硅晶圆片酸腐蚀装置

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