申请/专利权人：捷捷微电(南通)科技有限公司

申请日：2023-08-15

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220753361U

主分类号：H01J37/317

分类号：H01J37/317;H01J37/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本申请提供一种离子注入设备与系统，涉及半导体技术领域。该离子注入设备包括壳体、灯丝、第一灯丝套管、第二灯丝套管、第一法兰和第二法兰，第一灯丝套管和第二灯丝套管均镶嵌在壳体的入口处，第一灯丝套管朝壳体内部的一端与第一法兰连接，第二灯丝套管朝壳体内部的一端与第二法兰连接，第一灯丝套管、第二灯丝套管、第一法兰和第二法兰均套设于灯丝外；其中，第一法兰和第二法兰的表面不在同一平面。本申请提供的离子注入设备与系统能够利用现有的灯丝套管结构进行改进，防止两个法兰接触而导致短路，增加离子源使用时间，减少改造成本。

主权项：1.一种离子注入设备，其特征在于，所述离子注入设备包括壳体、灯丝、第一灯丝套管、第二灯丝套管、第一法兰和第二法兰，所述第一灯丝套管和所述第二灯丝套管均镶嵌在所述壳体的入口处，所述第一灯丝套管朝所述壳体内部的一端与所述第一法兰连接，所述第二灯丝套管朝所述壳体内部的一端与所述第二法兰连接，所述第一灯丝套管、第二灯丝套管、第一法兰和第二法兰均套设于所述灯丝外；其中，所述第一法兰和所述第二法兰的表面不在同一平面。

全文数据：

权利要求：

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