申请/专利权人:北京创世威纳科技有限公司
申请日:2023-12-29
公开(公告)日:2024-04-05
公开(公告)号:CN117824705A
主分类号:G01C25/00
分类号:G01C25/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开
摘要:本申请涉及半球谐振陀螺技术领域,尤其是涉及一种石英半球谐振子去重修调设备。石英半球谐振子去重修调设备包括工件台和离子束发生器,工件台活动设置,工件台能够带动放置于其上的工件沿X轴方向滑动、绕θ轴旋转以调节俯仰角度、绕r轴自转。离子束发生器与工件台沿X轴方向间隔设置,离子束发生器引出的离子束经过束径约束器后作用于工件上,束径约束器的位置沿Y轴方向和Z轴方向可调。因此,通过沿X轴方向调节工件的位置,能够实现对离子束流作用面积的精细控制。同时,工件可自转,以及调节俯仰角度,同时离子束流可沿Y轴方向和Z轴方向移动,使得本工件表面的所有位置均可通过离子束流进行刻蚀,以达到去重修调的目的。
主权项:1.一种石英半球谐振子去重修调设备,其特征在于,包括工件台和离子束发生器;所述工件台用于放置待修调的工件,所述工件台活动设置,所述工件台能够带动所述工件沿X轴方向滑动、绕θ轴旋转以及绕r轴自转;所述离子束发生器间隔地设于所述工件台沿所述X轴方向的一侧,所述离子束发生器用于朝向所述工件发射离子束流,所述离子束发生器朝向所述工件的一端设有束径约束器,且所述束径约束器的位置沿Y轴方向和Z轴方向可调;所述X轴方向、所述Y轴方向和所述Z轴方向两两相互垂直,所述r轴沿着所述Z轴方向,所述θ轴沿着所述Y轴方向。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 北京创世威纳科技有限公司 石英半球谐振子去重修调设备
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