申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所

申请日：2023-11-30

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870313A

主分类号：F26B11/18

分类号：F26B11/18;F26B21/00;F26B21/14;F26B25/00;F26B25/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种碲锌镉衬底干燥装置及方法，所述碲锌镉衬底干燥装置包括：壳体，包括前壳体、后壳体、左壳体、右壳体、上壳体与下壳体；左壳体与右壳体均为中空结构，左壳体与右壳体的内壁均设置有若干出气孔，出气孔均与中空结构连通，左壳体的外壁设置有进气孔，进气孔与中空结构连通；后壳体设置有通风孔；前壳体设置有进料口；承载台，设置于下壳体的内底壁的中央区域；风刀，通过连接件悬浮设置于壳体内，风刀的出风口指向承载台，风刀使用的是干燥氮气；温控装置，设置于壳体的内部，用于测量并控制壳体内的环境指标。采用本方案，利用温控装置控制衬底干燥过程中的操作环境，改善了碲锌镉衬底吹干后试剂残留问题，提高了衬底表面清洁度。

主权项：1.一种碲锌镉衬底干燥装置，其特征在于，包括：壳体，包括前壳体、后壳体、左壳体、右壳体、上壳体与下壳体；所述左壳体与右壳体均为中空结构，所述左壳体与所述右壳体的内壁均设置有若干出气孔，所述出气孔均与所述中空结构连通，所述左壳体的外壁设置有进气孔，所述进气孔与所述中空结构连通；所述后壳体设置有通风孔；所述前壳体设置有进料口；承载台，设置于所述所述下壳体的内底壁的中央区域；风刀，通过连接件悬浮设置于所述壳体内，所述风刀的出风口指向所述承载台，所述风刀使用的是干燥氮气；温控装置，设置于所述壳体的内部，用于测量并控制所述壳体内的环境指标。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第十一研究所 一种碲锌镉衬底干燥装置及方法

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