申请/专利权人：苏州芯镁信电子科技有限公司

申请日：2024-01-10

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117871601A

主分类号：G01N25/20

分类号：G01N25/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种恒温热导率气体传感器及制备方法，包括衬底、位于所述衬底上的绝缘层、位于所述绝缘层上的温控层与位于所述温控层上的保护层；所述温控层包括至少一个加热单元、多个制冷单元与多个测温单元，所述多个制冷单元位于所述加热单元的两侧，所述多个测温单元位于所述加热单元的两侧，且所述制冷单元和所述测温单元交替排布。本发明采用制冷单元进行主动降温，与加热单元、测温单元共同配合，使得恒温热导率气体传感器整体的工作温度达到实时稳定，且极大地减少了恒温热导率气体传感器恢复温度平衡的时间，也大大提高了温度控制的均匀性，有利于提升恒温热导率气体传感器进行气体检测的及时性和准确度，降低安全隐患。

主权项：1.一种恒温热导率气体传感器，其特征在于，包括衬底1、位于所述衬底1上的绝缘层2、位于所述绝缘层2上的温控层3与位于所述温控层3上的保护层4；所述温控层3包括至少一个加热单元31、多个制冷单元32与多个测温单元33，所述多个制冷单元32位于所述加热单元31的两侧，所述多个测温单元33位于所述加热单元31的两侧，且所述制冷单元32和所述测温单元33交替排布。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州芯镁信电子科技有限公司 一种恒温热导率气体传感器及制备方法

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