申请/专利权人：东莞南玻智能装备制造有限公司;中国南玻集团股份有限公司

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117867457A

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/56;C23C14/54;C03C17/00;G01N21/55;G01N21/59;G01N27/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种磁控溅射镀膜设备、系统及镀膜检测方法，镀膜生产控制技术领域。磁控溅射镀膜设备包括：真空溅射装置、隔离室、检测装置。本发明实施例的磁控溅射镀膜设备通过在磁控溅射镀膜系统中每一个真空溅射装置的输出端设置隔离室以容纳检测装置，使得在每一次经过一个真空溅射装置以完成镀膜操作后，均可以对待检测玻璃进行膜层的检测，且在检测结果出现异常时可以及时根据检测结果对镀膜工艺参数进行调整，从而简化了镀膜检测的操作流程，进而提高了镀膜参数调试的效率。

主权项：1.磁控溅射镀膜设备，其特征在于，应用于磁控溅射镀膜系统，所述磁控溅射镀膜系统包括传送装置、主控模块，所述主控模块与所述传送装置电连接，所述传送装置用于承载并传送待镀膜玻璃；所述磁控溅射镀膜设备包括：真空溅射装置，所述真空溅射装置的输入端用于接收所述待镀膜玻璃，所述真空溅射装置用于根据预设镀膜材料对所述待镀膜玻璃进行镀膜操作，以得到待检测玻璃；隔离室，所述隔离室内部设置有腔体，所述隔离室设置于所述真空溅射装置的输出端，所述隔离室用于隔离所述镀膜操作中所述预设镀膜材料的溅射；检测装置，所述检测装置设置于所述隔离室的腔体中，所述检测装置与所述主控模块电连接，所述检测装置用于检测所述待检测玻璃的目标膜层数据；其中，所述主控模块用于根据预设的标准膜层数据、所述目标膜层数据得到膜层检测结果，所述主控模块用于根据所述膜层检测结果控制所述传送装置的传送操作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞南玻智能装备制造有限公司;中国南玻集团股份有限公司 磁控溅射镀膜设备、系统及镀膜检测方法

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