申请/专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117867461A

主分类号：C23C14/54

分类号：C23C14/54;C23C14/46

优先权：["20221230 CN 2022117440817"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请涉及一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法，所述方法包括：安装待镀膜的工件及监控片；初始化并加载镀膜工艺；绘制圆周光谱曲线并定位监控片在产品转盘上的角度位置；镀膜工艺程序的自动执行；在镀膜过程中，实时采集监控片的光谱能量数据，拟合出当前膜层的真实厚度；并以此计算换层判停时间并触发换层判停逻辑；在换层后，对下一个膜层进行镀膜，直至完成镀膜工艺中的所有膜层。该技术方案，可以准确地定位到换层位置，避免了采用常规的以评价函数方法来控制换层的延时缺陷，可以确保成膜过程中对各个膜层厚度监控的精准度，特别是在多层镀膜时，能够显著减少换层误差累积，提升了光学薄膜产品的镀膜质量。

主权项：1.一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法，其特征在于，包括：S1，将待镀膜的工件及监控片安装到真空腔室的产品转盘上；S2，对各个部件进行初始化，并加载镀膜工艺文件；S3，控制产品转盘定速旋转，读取光谱仪的光谱能量并绘制圆周光谱曲线，根据所述圆周光谱曲线确定监控片在产品转盘上的角度位置；S4，控制所述产品转盘定速旋转，根据所述镀膜工艺文件进入镀膜程序；S5，在镀膜过程中，根据所述角度位置触发光谱仪实时采集监控片的光谱能量数据，依据所述光谱能量数据实时拟合出当前膜层的真实厚度；根据所述真实厚度计算换层判停时间，并触发换层判停逻辑进行换层；S6，在换层后，执行步骤S5对下一个膜层进行镀膜，直至完成镀膜工艺中的所有膜层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司 基于宽光谱监控的镀膜工艺方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD