申请/专利权人：湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)

申请日：2024-02-26

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117872691A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种基于数字化曝光的加工系统及方法，涉及激光加工技术领域。包括激光光源，用于产生激光光束；电子快门，位于激光光源的出光侧；扩束分束系统，扩束系统将激光光源调制成平行光，分束系统用于将激光光源产生的激光分束为第一光束和第二光束；空间光调制器，用于载入编码数字化相位图、光束照射到空间调制器后返回的衍射光携带编码的信息；投影光路，位于空间光调制器之后；二维移动台，位于投影光路的成像面一侧；光刻胶板，设置于二维移动台上；监控装置，用于实时拍摄曝光区域的情况并传输至电脑实时监控；计算机，电连接电子快门、二维移动台、空间光调制器、监控装置。本发明能对复杂结构进行加工，且加工设备成本低、效率高。

主权项：1.一种基于数字化曝光的加工系统，其特征在于，包括：激光光源，用于产生激光光束；电子快门，位于激光光源的出光侧，通过电子快门的开关控制激光进入或者阻止激光进入后续系统；扩束分束系统，扩束系统将激光光源调制成平行光，分束系统用于将激光光源产生的激光分束为第一光束和第二光束；空间光调制器，用于载入编码数字化相位图、光束照射到空间调制器后返回的衍射光携带编码的信息；投影光路，位于空间光调制器之后，可搭配4f系统滤波器，对来自空间光调制器的波前进行滤波；可搭配微缩系统，将投影的相位微缩后，投影于光刻胶板上一位置，所述位置为空间光调制器经过投影系统后的像面；二维移动台，位于投影光路的成像面一侧，用于精确携带光刻胶板进行横向和纵向位移，用于拼接曝光实现大幅面结构的制造；搭配微缩系统，可用于精确携带光刻胶板进行横向和纵向位移，用于拼接曝光实现大幅面微纳结构的制造；光刻胶板，设置于精密二维移动台上，用于承接来自投影光路的第一光束；若搭配分束扩束系统，则与通过反射镜反射及光阑遮挡后的第二光束在光刻胶板相同位置干涉曝光；监控装置，用于实时拍摄曝光区域的情况并传输至电脑实时监控；计算机，电连接电子快门、精密二维移动台、空间光调制器、监控装置，并控制电子快门的开关、精密二维移动台的移动及空间光调制器中播放编码数字化相位图。

全文数据：

权利要求：

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