申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2022-08-12

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117882170A

主分类号：H01L21/02

分类号：H01L21/02;G05B23/02

优先权：["20210831 JP 2021-141749"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：提供一种信息处理方法、信息处理装置、以及基板处理系统。包含如下的工序：从设置于基板处理装置的传感器获取时间序列数据的工序；基于获取到的时间序列数据，进行在输入了来自传感器的时间序列数据的情况下，输出与基板处理装置相关的信息的第一学习模型的学习的工序；以及向学习后的第一学习模型输入来自传感器的时间序列数据，输出基于从第一学习模型得到的信息的推断结果的工序。

主权项：1.一种信息处理方法，其中，包含：从设置于基板处理装置的传感器获取时间序列数据的工序；基于获取到的时间序列数据，进行第一学习模型的学习的工序，所述第一学习模型是在输入了来自所述传感器的时间序列数据的情况下，输出与所述基板处理装置相关的信息的模型；以及向学习后的第一学习模型输入来自所述传感器的时间序列数据，输出基于从所述第一学习模型得到的信息的推断结果的工序。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 信息处理方法、信息处理装置、以及基板处理系统

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