申请/专利权人：智慧星空(上海)工程技术有限公司;深圳智达星空科技(集团)有限公司

申请日：2024-01-19

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870559A

主分类号：G01B11/06

分类号：G01B11/06;G01B11/14;G01B9/02001;G01B9/02015

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请提供一种测量光学元件厚度与间隔的方法，涉及光学精密测量技术领域。本申请包括以下步骤：A、调节变焦镜头和光学元件的位置，并调节变焦镜头和光学元件的光轴处于同一直线；B、第二光源分别向光学元件和延迟线模块发射光线；C、调节延迟线模块的反射镜位置，使光学元件表面反射的第一测量光和反射镜反射的第一参考光发生干涉；D、根据反射镜处于不同位置时相邻位置之间的距离，获取光学元件的厚度和间隔。本申请还提供一种测量光学元件厚度与间隔的装置。本申请体积小，成本低，便于不同应用工况的集成和测量；本申请可以实现光学镜头中多个透镜中心厚度与空气间隔的测量，精度高，效率高，重复性好，不依赖于技术人员的操作经验。

主权项：1.一种测量光学元件厚度与间隔的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：A、向光学元件发射光线，对所述光学元件表面的反射光进行监测；利用第一伺服运动机构在光轴方向的移动，调节变焦镜头和光学元件的位置；利用第一伺服运动机构的围绕光轴的转动，调节所述变焦镜头和光学元件的光轴处于同一直线；B、第二光源分别向光学元件和延迟线模块发射光线，所述第二光源为低相干光源；C、通过第二伺服运动机构调节所述延迟线模块的反射镜位置，使所述光学元件表面反射的第一测量光和所述反射镜反射的第一参考光发生干涉；D、根据所述反射镜处于不同位置时相邻位置之间的距离，获取光学元件的厚度和间隔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 智慧星空(上海)工程技术有限公司;深圳智达星空科技(集团)有限公司 一种测量光学元件厚度与间隔的方法和装置

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