申请/专利权人：之江实验室

申请日：2024-03-08

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117871422A

主分类号：G01N21/17

分类号：G01N21/17;G01N21/3504;G01N21/01

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请提供一种光声光谱气体传感器及其制备方法。该光声光谱气体传感器包括基底层、形成于基底层上的绝缘层、以及形成于绝缘层上的功能层，功能层包括激光器、光声探测器及专用集成电路模块，激光器用于产生红外激光，光声探测器用于对目标气体被红外激光照射后产生的声波信号进行探测，专用集成电路模块用于对光声探测器探测到的声波信号进行处理以对目标气体进行检测。本申请的光声光谱气体传感器能够在同一片晶圆上实现激光器、光声探测器及专用集成电路模块的片上集成，从而能够降低传感器的体积和成本。

主权项：1.一种光声光谱气体传感器，其特征在于，包括基底层、形成于所述基底层上的绝缘层、以及形成于所述绝缘层上的功能层，所述功能层包括激光器、光声探测器及专用集成电路模块，所述激光器用于产生红外激光，所述光声探测器用于对目标气体被所述红外激光照射后产生的声波信号进行探测，所述专用集成电路模块用于对所述光声探测器探测到的声波信号进行处理以对所述目标气体进行检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 之江实验室 光声光谱气体传感器及其制备方法

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