申请/专利权人：国网冀北电力有限公司唐山供电公司;西安交通大学;国家电网有限公司

申请日：2023-11-30

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117881266A

主分类号：H10N30/078

分类号：H10N30/078;H10N30/093;H10N30/853;H10N30/87;H10N30/88;H01L21/66

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种利用衬底电极调控柔性PZT薄膜性能的方法，涉及PZT压电薄膜性能调控领域；而本发明包括通过调控底电极类型可以实现制备不同类型的PZT薄膜，提供了一种对于柔性PZT薄膜在衬底和材料选择时的技术方法和规范流程，并通过此技术方法，对于目前应用较广泛的不同基底材料和电极材料所制备的PZT薄膜的压电性能进行对比，从而初步选择出一种压电性能较高的基底材料与电极材料组合方案。通过此种技术手段，可以通过改变底电极材料类型从而实现对于PZT薄膜压电性能的调控，找到压电响应更高的PZT薄膜结构类型。此种方法操作简单，可靠性好，可重复性高，广泛运用于压电材料性能调控领域。

主权项：1.一种利用衬底电极调控柔性PZT薄膜性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，选择待筛选的衬底材料和底电极材料，构成衬底材料与底电极材料的多组组合；步骤2，按照步骤1获得的多种组合，制备由衬底和底电极构成的多个基底，并在所述多个基底上制备PZT薄膜；步骤3，对步骤2获得的多个PZT薄膜进行压电性能检测，横向对比，筛选获得所需PZT薄膜性能的衬底和底电的组合。

全文数据：

权利要求：

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