申请/专利权人:国网冀北电力有限公司唐山供电公司;西安交通大学;国家电网有限公司
申请日:2023-11-30
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN117881265A
主分类号:H10N30/078
分类号:H10N30/078;H10N30/093;H10N30/853;H01L21/66
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开
摘要:一种厚度可控PZT薄膜及其制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:称取三水合醋酸铅、正丙氢氧化锆、异丙酸钛加入溶胶瓶并配制溶胶;在PtMica基底上多次旋涂所述溶胶以获得PZT薄膜;对不同厚度的所述PZT薄膜的压电性能进行检测,以确认量产PZT薄膜的制备工艺。
主权项:1.一种厚度可控PZT薄膜的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:称取三水合醋酸铅、正丙氢氧化锆、异丙酸钛加入溶胶瓶并配制溶胶;在PtMica基底上多次旋涂所述溶胶以获得PZT薄膜;对不同厚度的所述PZT薄膜的压电性能进行检测,以确认量产PZT薄膜的制备工艺。
全文数据:
权利要求:
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