申请/专利权人：无锡超通智能制造技术研究院有限公司

申请日：2024-02-06

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117697591B

主分类号：B24B21/10

分类号：B24B21/10;B24B21/18;B24B21/20;B24B1/00;B24B49/12;B24B41/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明涉及掩膜版研磨技术领域，特别涉及一种精细金属掩膜版研磨系统，包括运动机构、研磨平台、测量机构和研磨机构，所述运动机构设置在研磨平台的上方，所述测量机构和研磨机构安装在运动机构上，所述研磨平台包括平台座、透明平台板、固定组件、移动组件和顶升组件，平台座的上部内凹形成有凹槽，透明平台板设置于凹槽的槽口中部，固定组件内设于凹槽的左端，移动组件相对于固定组件内设于凹槽的右端，且与凹槽横向滑动连接，顶升组件设置在固定组件与移动组件之间，且跨设于透明平台板，并与凹槽横向滑动连接；本发明提供一种结构设计简单，研磨头与产品软接触，实现精准研磨的精细金属掩膜版研磨系统及研磨方法。

主权项：1.一种精细金属掩膜版研磨系统，包括运动机构（100）、研磨平台（200）、测量机构（300）和研磨机构（400），所述运动机构（100）设置在研磨平台（200）的上方，所述测量机构（300）和研磨机构（400）安装在运动机构（100）上，其特征在于，所述研磨平台（200）包括平台座（210），其上部内凹形成有凹槽（211），透明平台板（220），设置于凹槽（211）的槽口中部，固定组件（230），内设于凹槽（211）的左端，移动组件（240），相对于固定组件（230）内设于凹槽（211）的右端，且与凹槽（211）横向滑动连接，顶升组件（250），设置在固定组件（230）与移动组件（240）之间，且跨设于透明平台板（220），并与凹槽（211）横向滑动连接；所述固定组件（230）包括固定支架（231）、固定吸盘（232）、直线轴承（233）和拉力传感器（234），所述固定支架（231）纵向安装在凹槽（211）内，所述固定吸盘（232）设置在固定支架（231）的上方，且其前后两端分别通过直线轴承（233）与固定支架（231）连接，所述拉力传感器（234）的一端与固定支架（231）的右端连接，且其另一端与固定吸盘（232）的右端连接；所述移动组件（240）包括第一双驱纵梁（241）、第一移动架（242）、移动吸盘（243）和第一直线电机（244），所述第一双驱纵梁（241）设置在凹槽（211）的槽口处，且位于透明平台板（220）的上方，所述第一双驱纵梁（241）的前后两端分别通过第一移动架（242）与凹槽（211）的槽底滑动连接，所述移动吸盘（243）安装在第一双驱纵梁（241）的顶端，所述第一直线电机（244）设置在凹槽（211）内，用于驱动第一移动架（242）横向移动；所述顶升组件（250）包括第二双驱纵梁（251）、顶升架（252）、第二移动架（253）、顶升组（254）、顶升吸盘（255）和第二直线电机（256），所述第二双驱纵梁（251）设置在凹槽（211）的槽口处，且位于透明平台板（220）的上方，所述第二双驱纵梁（251）底端的前后两侧分别与顶升架（252）的顶端连接，所述顶升架（252）与第二移动架（253）竖向滑动连接，所述第二移动架（253）的底端与凹槽（211）的槽底横向滑动连接，所述顶升组（254）安装在第二移动架（253）上，用于驱动顶升架（252）竖向移动，所述顶升吸盘（255）安装在第二双驱纵梁（251）的顶端，所述第二直线电机（256）设置在凹槽（211）内，用于驱动第二移动架（253）横向移动；所述研磨机构（400）包括安装底座（410）、研磨带组件（420）、驱动组件（430）、间距调节组件（440）和研磨头组件（450），所述安装底座（410）的后端与运动机构（100）的驱动端连接，所述研磨带组件（420）通过间距调节组件（440）安装在安装底座（410）的前侧，所述驱动组件（430）安装在安装底座（410）的上部，用于驱动研磨带组件（420）运动，所述研磨头组件（450）安装在安装底座（410）的下部，所述安装底座（410）的底端中部开设有研磨口（411）供研磨头组件（450）穿过；所述研磨头组件（450）包括下压电机（451）、滑座（452）、压力传感器（453）、研磨头（454）、压紧弹簧（455）、压紧杆（456）、压紧轮（457）和除尘器（458），所述下压电机（451）竖向安装在安装底座（410）的后端中部，所述滑座（452）竖向滑动安装在安装底座（410）的前端下部，所述下压电机（451）的输出端通过压力传感器（453）与滑座（452）连接，所述研磨头（454）安装在滑座（452）的底端，所述压紧弹簧（455）、压紧杆（456）和压紧轮（457）均安装在滑座（452）的前端，所述压紧弹簧（455）的顶端与滑座（452）连接，且其底端与压紧杆（456）的顶端连接，所述压紧杆（456）的中部与滑座（452）转动连接，所述压紧轮（457）转动安装在压紧杆（456）的底端，所述除尘器（458）对称安装在安装底座（410）底端的左右两侧；所述研磨头（454）包括本体（4541）和研磨珠（4542），所述本体（4541）的顶端与滑座（452）的底端连接，所述研磨珠（4542）嵌设于本体（4541）的底端中部，且部分突出本体（4541）的底面。

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