申请/专利权人：安徽寰球智能装备有限公司

申请日：2023-08-11

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220787358U

主分类号：B65G47/91

分类号：B65G47/91;B08B3/02;B08B5/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种掩膜版加工用对位传送装置，涉及掩膜版加工用对位传送技术领域。包括机架、掩膜版和控制开关，机架侧面固定有抽风机，机架内壁底部固定有传送带，机架内壁两侧均固定有电动导轨，电动导轨侧面滑动连接有移动杆，移动杆侧面固定有橡胶绒毛片，机架内壁顶部固定有液压杆，液压杆底部固定有吸盘。通过电动导轨、移动杆、橡胶绒毛片液压杆、吸盘的配合可以实现蚀刻好的掩膜版在机架内移动，免去了人工操作对掩膜版的污染，同时还设置有去离子水箱对蚀刻好的掩膜版进行清洗，除去因蚀刻时留下的残留物，同时还设置有气体处理器和吹风机对清洗好的掩膜版风干和吹去掩膜版表面的微尘。

主权项：1.一种掩膜版加工用对位传送装置，包括机架（1）、掩膜版（11）和控制开关，其特征在于：所述机架（1）侧面固定有抽风机（2），所述机架（1）内壁底部固定有传送带（3），所述机架（1）内壁两侧均固定有电动导轨（7），所述电动导轨（7）侧面滑动连接有移动杆（8），所述移动杆（8）侧面固定有橡胶绒毛片（9），所述机架（1）内壁顶部固定有液压杆（12），所述液压杆（12）底部固定有吸盘（13）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽寰球智能装备有限公司 一种掩膜版加工用对位传送装置

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