申请/专利权人：云谷(固安)科技有限公司

申请日：2022-09-26

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN115418605B

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本申请公开了一种掩膜板框架和掩膜板组件，掩膜板框架包括本体和承载块组件，本体具有蒸镀开口以及围绕蒸镀开口的实体区，实体区具有承载面；承载块组件包括多个承载块，承载块设置于本体的承载面上、且与本体可拆卸连接。本申请提供的掩膜板框架中，承载块与本体可拆卸连接，因此对掩膜板精度的调节过程无需将掩膜板支撑条与承载块分离，仅需调整承载块与本体的位置关系即可，从而可防止损伤掩膜板以及支撑条，使得掩膜板以及支撑条可重复利用，降低了掩膜板的损耗，从而节省了生产成本，且调节过程方便，并可使得张网精度达到预想的效果。

主权项：1.一种掩膜板框架，其特征在于，包括：本体，所述本体具有蒸镀开口以及围绕所述蒸镀开口的实体区，所述实体区具有承载面；承载块组件，包括多个承载块，所述承载块设置于所述本体的所述承载面上、且与所述本体可拆卸连接，所述承载块背离所述承载面的一侧表面可对掩膜板进行支撑，通过调整所述承载块与所述本体的位置可实现对所述掩膜板的拉伸、收缩、以及对所述掩膜板的倾斜角度的调整；其中，所述实体区包括开口位于所述承载面的过孔，所述承载块的一侧表面设置有固定柱，所述承载块通过所述固定柱与所述实体区的所述过孔插接配合；所述承载块用于承载掩膜板和或支撑条，所述掩膜板框架还包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件与所述第二限位件分别与所述实体区可拆卸连接，沿所述掩膜板和或所述支撑条的长度方向，所述第一限位件与所述第二限位件分别位于所述承载块的两侧，所述第一限位件与所述第二限位件配合以夹紧所述承载块；所述第二限位件远离所述实体区的一端包括向朝向所述第一限位件的方向凸出的伸出端，所述承载块朝向所述第二限位件的一侧且远离所述实体区的一端形成有用于容纳所述伸出端的容纳部，所述第二限位件的所述伸出端与所述承载块的所述容纳部凹凸配合。

全文数据：

权利要求：

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